现代科学技术的一个重要组成部分就是真空技术, 真空技术广泛应用于国民经济中的各个领域里, 推动并促进了科技研究和生产技术的发展, 而真空测量是真空技术的一个重要环节。
现在真空测量的传感器, 大部分都是用电离规, 并且在中程真空范围用途最广泛。常用的电离真空规测量仪, 都采用模拟电路控制发射电流, 并把它当成固定数来运算, 这样会产生一些不足之处, 例如: 由于外界干扰或元器件老化造成电流有偏差; 或控制环中的漂移产生不稳定, 由此而导致测量误差较大。为消除此类不良现象, 我们应用现代控制理论—PID和Fuzzy控制, 采用数字电路控制发射电流, 控制环中都用16位的高分辨率A/D和D/A,且把发射电流测量值参入运算, 允许发射电流有一定的变化范围。这样既提高了测量精度, 又在它们的线性区域内扩充量程。为保障仪器正常运转, 开机有自检功能,运行有自我保护措施。若超量时,自动关掉规管电源, 并显示“故障”; 为防外界干扰, 仪器中软、硬件加有抗干扰措施。
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